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3月15日，全球半导体行业规格最高、规模最大的2016国际半导体设备、材料、制造和服务展览暨研讨会在上海新国际博览中心开幕。来自沈阳集成电路装备行业的沈阳富创精密设备有限公司、沈阳芯原微电子设备有限公司、沈阳中科博微自动化技术有限公司、沈阳硅基科技有限公司和沈阳拓荆科技有限公司组团亮相，大大提升了沈阳高端智造在国内外的知名度。
该展览会被誉为全球半导体产业的风向标，全球业界精英通过展会了解、把握市场动向、趋势与挑战，并在蓬勃发展的产业大潮中捕捉到商机。台积电、美国应用材料等1000多家国际知名企业参展，开幕当天观众数量就已过万人次。
近年来，沈阳集成电路装备制造产业集群已初步形成。本土企业通过自主创新，突破了多个制约产业发展的技术瓶颈，开发出14类集成电路整机装备及上万种零部件产品。其中，PECVD设备实现在中芯国际生产线的首台应用；涂胶显影机及高端封装成套设备在国内的市场份额已超过40%。
