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Entegris Inc.宣布推出空气分子污染(AMC)化学滤网 VaporSorb 系列的扩充产品。Entegris为首创的 VaporSorb TRK 化学滤网新增在黄光制程中脱除弱酸，以涵盖四种主要空气分子污染类型，适用于半导体制造关键步骤的无尘室环境和制程生产机台。
VaporSorb 化学滤网的设计已能以单一过滤器捕捉空气有机物、硷和强酸。新型 VaporSorb TRK 已添加特殊材质，使其成为第一个不仅能捕捉前三种核心污染物类别，还能捕捉第四类别的化学滤网，也就是定义为弱酸的类别。
针对光微影涂布/曝光机追踪设计新型化学滤网，首创「四合一」化学滤网解决方案设立在过去的「三合一」技术上，避免了多重化学滤网的处理。此外，本化学滤网能保持 VaporSorb 的使用寿命，降低生产机台的停机时间和持有成本。
Entegris AMC过滤服务部资深产品行销经理 Joe Wildgoose 表示：「目前的黄光制程良率问题可望减轻；解决问题要从处理一个必须处理的污染物类别开始，也就是弱酸。 VaporSorb TRK 不仅是能处理三种常见主要问题的单一解决方案，还能处理最新关于弱酸性空气污染物的问题。」
弱酸的例子包括醋酸和甲酸(醋酸盐； CH3COO- 和甲酸盐； HCOO- )，以及亚硝酸(亚硝酸盐； NO2-)。这些污染物会在黄光制程中产生污染和产量的问题，因为不仅传统 AMC 化学滤网无法除去这些污染物，而且使用传统设计过滤器时还可能产生有机污染。
VaporSorb 化学滤网以独特的混合材料捕捉空气分子污染物。藉由添加新的吸附剂来加强该混合材质，以产生新型四合一化学滤网。实测上，终端使用者测试已证明该化学滤网能够捕捉所有会污染晶圆和设备的有机物、硷、强酸和弱酸。
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